B/C/N/系セラミックスの応用としての静電チャック Electrostatic chuck as application of B/C/N ceramics

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収録刊行物

  • 炭素  

    炭素 (226), 48-54, 2007-01-15 

    THE CARBON SOCIETY OF JAPAN

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018709246
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00140335
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03715345
  • NDL 記事登録ID
    8656722
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z17-230
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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