B/C/N系セラミックスの応用としての静電チャック

• 藤井 清利

  GEスペシャルティ・マテリアルズ・ジャパン (株) 上月工場

書誌事項

タイトル別名

• Electrostatic chuck as application of B/C/N ceramics
• レンサイ コウザ B C Nケイ セラミックス ノ オウヨウ ト シテ ノ セイデンチャック

収録刊行物

• 炭素

  炭素 2007 (226), 48-54, 2007

  炭素材料学会

詳細情報

• CRID: 1390282679202540800
• NII論文ID: 10018709246
• NII書誌ID: AN00140335
• DOI: 10.7209/tanso.2007.48
• ISSN: 18845495
• ISSN: 03715345
• NDL書誌ID: 8656722
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8656722
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles