PVD技術に関する最新動向

• 川名 淳雄

Bibliographic Information

Other Title

• PVD ギジュツ ニ カンスル サイシン ドウコウ
• 特集・表面改質技術
• トクシュウ ヒョウメン カイシツ ギジュツ

Journal

• トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編

  トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 52 (1), 10-15,図巻頭1p, 2007

  東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-

Keywords

• PVD
• ceramics coating
• DLC
• deplex treatment
• radical nitride

Details

• CRID: 1520853832448267776
• NII Article ID: 10018721255
• NII Book ID: AN10056166
• ISSN: 09151168
• NDL BIB ID: 8654621
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8654621
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles