複数FBMを組み合せた不良モード分類を行う故障解析システム Failure analysis system to classify failure modes using combination of FBMs

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著者

    • 前田 一史 MAEDA Hitoshi
    • 株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部 Process Technology Development Division, Production and Technology Unit, Renesas Technology Corp.
    • 太田 文人 OHTA Fumihito
    • 株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部 Process Technology Development Division, Production and Technology Unit, Renesas Technology Corp.
    • 國家 三智雄 KUNIYA Michio
    • 株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部 Process Technology Development Division, Production and Technology Unit, Renesas Technology Corp.
    • 福本 晃二 FUKUMOTO Koji
    • 株式会社ルネサス テクノロジ 生産本部 ウェハプロセス技術統括部 Process Technology Development Division, Production and Technology Unit, Renesas Technology Corp.

収録刊行物

  • 電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路  

    電子情報通信学会技術研究報告. ICD, 集積回路 106(468), 91-96, 2007-01-11 

参考文献:  5件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018727710
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10013276
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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