第23回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム報告

• 今仲 行一

• 橋口 原

• 佐藤 文彦

収録刊行物

• 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society

  電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 127 (3), 194-200, 2007-03-01

キーワード

• MEMS
• センサ
• アクチュエータ
• 計測
• 制御

詳細情報

• CRID: 1571135650369645568
• NII論文ID: 10018737886
• NII書誌ID: AN1052634X
• ISSN: 13418939
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles