FIB加工による照射欠陥形成と集合体形成の抑制 Formation of radiation damage and point defect clusters by FIB thinning process

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著者

収録刊行物

  • 顕微鏡  

    顕微鏡 41(3), 167-169, 2006-11-30 

    日本顕微鏡学会

参考文献:  8件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018791264
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11917781
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    13490958
  • NDL 記事登録ID
    8609462
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-896
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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