FIB加工による照射欠陥形成と集合体形成の抑制

• 向田 一郎

Bibliographic Information

Other Title

• FIB カコウ ニ ヨル ショウシャ ケッカン ケイセイ ト シュウゴウタイ ケイセイ ノ ヨクセイ
• 特集:ビーム誘起・励起効果
• トクシュウ ビーム ユウキ レイキコウカ

Journal

• 顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編

  顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編 41 (3), 167-169, 2006

  東京 : 日本顕微鏡学会

Keywords

• ガリウムイオン
• 格子間原子
• 原子空孔
• 点欠陥集合体
• 照射損傷

Details

• CRID: 1520290882961176576
• NII Article ID: 10018791264
• NII Book ID: AA11917781
• ISSN: 13490958
• NDL BIB ID: 8609462
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8609462
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles