最近の研究と技術 完全自動化されたデュアルビームFIB-SEM-EBSPシステムを使ったAuボンディングワイヤーの3次元EBSD分析

• J. J. L. Mulders

• A. Gholinia

• 村田 薫

書誌事項

タイトル別名

• サイキン ノ ケンキュウ ト ギジュツ カンゼン ジドウカ サレタ デュアルビーム FIB SEM EBSP システム オ ツカッタ Au ボンディングワイヤー ノ 3ジゲン EBSD ブンセキ

収録刊行物

• 顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編

  顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編 41 (3), 204-207, 2006

  東京 : 日本顕微鏡学会

キーワード

• EBSD and FIB
• 3D crystallography
• visualization
• interpretation

詳細情報

• CRID: 1520009409284333696
• NII論文ID: 10018791433
• NII書誌ID: AA11917781
• ISSN: 13490958
• NDL書誌ID: 8609560
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8609560
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles