トライボロジー作用を活用したナノメータスケールの加工とその応用展開

• 三宅 正二郎

  日本工業大学システム工学科

書誌事項

タイトル別名

• Nanometer Scale Processing by Tribological Action and its Potential Applications
• トライボロジー サヨウ オ カツヨウシタ ナノメータ スケール ノ カコウ ト ソノ オウヨウ テンカイ

収録刊行物

• 真空

  真空 50 (2), 89-95, 2007

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679041407616
• NII論文ID: 10018851135
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.50.89
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 8735157
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8735157
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN