Realization of virtual sub chamber on active controlled pneumatic isolation table with pressure differentiator

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収録刊行物

  • Precision engineering  

    Precision engineering 31(2), 139-145, 2007-02-01 

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被引用文献:  3件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018869385
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11537543
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    01416359
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
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