高精度非球面ミラーの加工技術 Ultraprecision Machining Method for Ultraprecise Aspherical Mirror

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抄録

An ultraprecise aspherical mirror, which is difficult to fabricate by conventional mechanical machining, is required for optics, particularly in the field of coherent hard X-rays or extreme-ultraviolet lithography. In this review, we introduce new fabrication methods of elastic emission machining (EEM) and plasma chemical vaporization machining (PCVM). They are noncontact machining methods using chemical reactions and enable ultraprecise numerically controlled figuring by dwell time control. We also introduce ultraprecise aspheric ellipsoid mirrors for focusing hard X-rays fabricated using PCVM and EEM with a new figure testing method, were found to achieve nearly diffraction-limited focusing performance.

収録刊行物

  • レーザー研究  

    レーザー研究 35(3), 162-167, 2007-03-15 

    The Laser Society of Japan

参考文献:  42件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018869939
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    8751150
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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