液体スズターゲットによる高効率EUV光源の開発 Development of an Efficient EUV Source by Use of a Liquid Tin Oxide Micro-Target

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抄録

We report on a low-debris, efficient extreme ultraviolet (EUV) source by use of a liquid micro-target containing low-concentration tin oxide nano-particles. Conversion efficiency from a laser pulse energy to an in-band EUV energy (2% bandwidth (BW) and 2πIsr solid angle) depended on various experimental parameters, such as tin oxide concentration, laser intensity, and pulse separation time between dual laser pulses. By using a low concentration (6%) colloidal target together with dual laser pulses under the optimum separation time, we observed the EUV conversion efficiency of 1.2% with undetectable debris.

収録刊行物

  • レーザー研究  

    レーザー研究 35(3), 168-172, 2007-03-15 

    The Laser Society of Japan

参考文献:  18件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018869982
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00255326
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03870200
  • NDL 記事登録ID
    8751153
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1040
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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