液体スズターゲットによる高効率EUV光源の開発

• 東口 武史

  宮崎大学工学部

• 窪寺 昌一

  宮崎大学工学部

書誌事項

タイトル別名

• Development of an Efficient EUV Source by Use of a Liquid Tin Oxide Micro-Target
• レーザーオリジナル 液体スズターゲットによる高効率EUV光源の開発
• レーザー オリジナル エキタイ スズ ターゲット ニ ヨル コウコウリツ EUV コウゲン ノ カイハツ

抄録

We report on a low-debris, efficient extreme ultraviolet (EUV) source by use of a liquid micro-target containing low-concentration tin oxide nano-particles. Conversion efficiency from a laser pulse energy to an in-band EUV energy (2% bandwidth (BW) and 2πIsr solid angle) depended on various experimental parameters, such as tin oxide concentration, laser intensity, and pulse separation time between dual laser pulses. By using a low concentration (6%) colloidal target together with dual laser pulses under the optimum separation time, we observed the EUV conversion efficiency of 1.2% with undetectable debris.

収録刊行物

• レーザー研究

  レーザー研究 35 (3), 168-172, 2007

  一般社団法人 レーザー学会

キーワード

• Extreme ultraviolet (EUV) emission
• Laser-produced plasma (LPP)
• EUV lithography

詳細情報

• CRID: 1390001204645437056
• NII論文ID: 10018869982
• NII書誌ID: AN00255326
• DOI: 10.2184/lsj.35.168
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD2sXks1Oqsbs%3D
• ISSN: 13496603
• ISSN: 03870200
• NDL書誌ID: 8751153
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8751153
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/lsj/35/3/35_168/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可