Adaptive friction compensation for a high precision stage using synchronous piezoelectric device driver

• Seiji Hashimoto

• Kouji Kosaka

• Hiroshi Kubota

Bibliographic Information

Other Title

• 産業計測制御研究会 計測・センサ応用,モーションコントロール全般
• サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ケイソク センサ オウヨウ モーション コントロール ゼンパン

Journal

• 電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]

  電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2007 (85-99), 7-12, 2007-03-07

  東京 : 電気学会

Keywords

• SPIDER system
• hig precision positioning
• friction force
• adaptive control

Details

• CRID: 1520853834983492992
• NII Article ID: 10018899195
• NII Book ID: AN10074226
• NDL BIB ID: 8769315
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8769315
• Text Lang: en
• NDL Source Classification:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles