Adaptive friction compensation for a high precision stage using synchronous piezoelectric device driver
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- Other Title
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- 産業計測制御研究会 計測・センサ応用,モーションコントロール全般
- サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ケイソク センサ オウヨウ モーション コントロール ゼンパン
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- 電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]
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電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2007 (85-99), 7-12, 2007-03-07
東京 : 電気学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520853834983492992
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- NII Article ID
- 10018899195
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- NII Book ID
- AN10074226
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- NDL BIB ID
- 8769315
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- Text Lang
- en
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- NDL Source Classification
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles