表面形状学習型PTCに基づく原子間力顕微鏡のナノスケールサーボの提案

• 大島 隆史

• 藤本 博志

Bibliographic Information

Other Title

• ヒョウメン ケイジョウ ガクシュウガタ PTC ニ モトズク ゲンシカンリョク ケンビキョウ ノ ナノスケール サーボ ノ テイアン
• Proposal of nanoscale servo system of atomic force microscope based on surface topography learning with PTC
• 産業計測制御研究会 計測・センサ応用,モーションコントロール全般
• サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ケイソク センサ オウヨウ モーション コントロール ゼンパン

Journal

• 電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]

  電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2007 (36-52), 7-12, 2007-03-06

  東京 : 電気学会

Keywords

• 原子間力顕微鏡
• 完全追従制御
• 表面形状オブザーバ
• 学習制御
• モデル化
• Atomic Force Microscope
• Perfect Tracking Control
• Surface Topography Observer
• learning control
• modeling

Details

• CRID: 1520009410050343808
• NII Article ID: 10018899692
• NII Book ID: AN10074226
• NDL BIB ID: 8767509
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8767509
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles