突起状接触端子を形成したLSI検査用薄膜プローブの開発 Development of Membrane Probe with Projecting Tips for LSI Testing

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会

    電気学会研究会資料. ECT, 電子回路研究会 2003(107), 29-33, 2003-12-16

参考文献:  6件中 1-6件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018969280
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10441815
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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