ダイヤフラム型極細光ファイバ式圧力センサ

• 渡辺 智久

  埼玉大学

• 豊島 克久

  埼玉大学

• 高橋 幸郎

  埼玉大学

書誌事項

タイトル別名

• Diaphragm - Type Optical Fiber Pressure Sensor

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

  電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2003 (1), 15-18, 2003-09-19

キーワード

• 圧力センサ
• 光ファイバセンサ
• マイクロマシニング

詳細情報

• CRID: 1570291225423293440
• NII論文ID: 10018971600
• NII書誌ID: AA11486078
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles