Performances of resist spray coating and its application

• KUMAR Singh Vijay

  Tohoku University

• SASAKI Minoru

  Tohoku University

• HANE Kazuhiro

  Tohoku University

Bibliographic Information

Other Title

• レジストスプレーコーティングの特性と反応

Journal

• 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

  電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2003 (1), 29-35, 2003-09-19

Keywords

• three-dimensional micromachining
• photolithography
• resist
• spray coating

Details

• CRID: 1572543025236977408
• NII Article ID: 10018971616
• NII Book ID: AA11486078
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles