高アスペクト比櫛歯構造におけるダンピング解析 Damping Analysis of High-Aspect-Ratio Comb-Shaped Structure

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002(16), 11-16, 2002-11-27

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018971693
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11486078
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ