Lateral Cantilever Fabrication by Fine Metal Pattern Transplantation

• KAWATA Hiroaki

  Osaka Prefecture University

• UENO Taketo

  Osaka Prefecture University

• YASUDA Masaaki

  Osaka Prefecture University

• HIRAI Yoshihiko

  Osaka Prefecture University

Bibliographic Information

Other Title

• 金属パターン移植法による横型カンチレバーの作製

Journal

• 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

  電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002 (16), 17-20, 2002-11-27

Details

• CRID: 1573387450167114368
• NII Article ID: 10018971697
• NII Book ID: AA11486078
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles