BaTi_<1-x>Sn_xO_3薄膜誘電ボロメータ型赤外線センサの作製と基礎特性

• 野村 哲男

  立命館大学大学院

• 宮本 哲雄

  大阪府立産業技術総合研究所

• 村上 修一

  大阪府立産業技術総合研究所

• 井上 幸二

  大阪府立産業技術総合研究所

• 野田 実

  大阪大学大学院

• 奥山 雅則

  大阪大学大学院

• 濱川 圭弘

  立命館大学大学院

書誌事項

タイトル別名

• Fabrication and Basic Characteristics of Dielectric Bolometer Mode of Infrared Sensor Using a Ba(Ti_<1-x>Sn_x)O_3 Thin Film

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

  電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002 (16), 45-50, 2002-11-27

キーワード

• 熱型赤外線センサ
• 誘電ボロメータ型
• 強誘電体薄膜
• Ba(Ti,Sn)O_3 MOD

詳細情報

• CRID: 1572543025237006080
• NII論文ID: 10018971741
• NII書誌ID: AA11486078
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles