電子ビーム露光装置を用いた微細光学素子の作製 Fabrication of Micro-Optics by EB lithography

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  • 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002(7), 23-27, 2002-09-20

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

  • <no title>

    HERZIG H. P.

    Micro-Optics, 1997

    被引用文献1件

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    TOYOTA H.

    Jpn. J. Appl. Phys 40, L747, 2001

    被引用文献1件

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    WILSON S. J.

    Opt. Acta 29, 993-1009, 1982

    DOI 被引用文献16件

  • <no title>

    YU W.

    Appl. Opt. 39, 3531, 2000

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018971817
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11486078
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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