Fabrications and characterizations of the a-Si:H nanoball films of photoluminescence materials using microwave plasma CVD system

• KEZUKA Hiroshi

  Tokyo University of Technology

• KATO Isamu

  Waseda University

• SAITO Ryohei

  Waseda University

• SUZUKI Tsunenori

  Tokai University

Bibliographic Information

Other Title

• マイクロ波プラズマCVDによる光ナノSi薄膜の作製とその評価

Journal

• 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

  電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002 (7), 29-33, 2002-09-20

Keywords

• microwave plasma CVD system
• a-Si:H nanoball
• photoluminescence
• quantum-dots

Details

• CRID: 1574231875096988672
• NII Article ID: 10018971822
• NII Book ID: AA11486078
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles