Fabrications and characterizations of the a-Si:H nanoball films of photoluminescence materials using microwave plasma CVD system
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- KEZUKA Hiroshi
- Tokyo University of Technology
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- KATO Isamu
- Waseda University
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- SAITO Ryohei
- Waseda University
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- SUZUKI Tsunenori
- Tokai University
Bibliographic Information
- Other Title
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- マイクロ波プラズマCVDによる光ナノSi薄膜の作製とその評価
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Journal
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- 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会
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電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002 (7), 29-33, 2002-09-20
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1574231875096988672
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- NII Article ID
- 10018971822
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- NII Book ID
- AA11486078
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles