Development of Nanoscale Fabrication and Material Testing Based on AFM Technique for MEMS
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- NAMAZU Takahiro
- Himeji Institute of Technology
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- ISONO Yoshitada
- Ritsumeikan University
Bibliographic Information
- Other Title
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- AFMを用いたナノ加工・MEMS材料試験技術の開発
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Journal
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- 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会
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電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002 (7), 35-38, 2002-09-20
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1572543025236721024
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- NII Article ID
- 10018971827
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- NII Book ID
- AA11486078
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles