微細加工技術を用いた圧電体成膜・デバイス形成技術に関する研究 Micro-fabrication technology for piezoelectric film formation and its application to device manufacturing

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会  

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2002(1), 7-12, 2002-09-19 

参考文献:  13件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018971854
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11486078
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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