p-MOS検出機構を用いたCMOSスマート3軸加速度センサのCMOS微細化による特性改善 Characteristic Improvement by CMOS Scaling Effects in the CMOS Smart Three-Axis Accelerometer Using p-MOS Detection Elements

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会  

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2001(18), 25-30, 2001-12-14 

参考文献:  10件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018971912
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11486078
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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