薄膜流量センサーの開発 Development of flowsensor using thin film device

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2001(1), 1-4, 2001-11-21

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

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    米野忠男

    センサ技術, 1988

    被引用文献1件

  • <no title>

    日本学術振興会

    薄膜ハンドブック, 1983

    被引用文献1件

  • <no title>

    ZHANG Jialing

    Jpn. J. Appl. Phys. 36, 834, 1997

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018971923
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11486078
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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