薄膜流量センサーの開発

• 井上 眞一

  三井金属鉱業株式会社 総合研究所

• 友成 健二

  三井金属鉱業株式会社 総合研究所

• 川西 利明

  三井金属鉱業株式会社 総合研究所

• 山岸 喜代志

  三井金属鉱業株式会社 総合研究所

書誌事項

タイトル別名

• Development of flowsensor using thin film device

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

  電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2001 (1), 1-4, 2001-11-21

キーワード

• 流量センサー
• Pt測温体
• TaSiO2発熱体

詳細情報

• CRID: 1570291225422985856
• NII論文ID: 10018971923
• NII書誌ID: AA11486078
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles