変位拡大機構による半導体マイクロ圧力スイッチ A Micro Pressure Switch with a Deformation Enhancer using SOI Technology

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

    電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2001(1), 33-38, 2001-11-21

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

キーワード

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018971976
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11486078
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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