ダイヤモンド薄膜合成用の表面波プラズマCVD装置におけるプラズマ特性の最適化 Optimum Plasma Generation in Surface Wave Plasma CVD Apparatus for Diamond Film Deposition

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会  

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2003(24), 39-43, 2003-05-08 

参考文献:  13件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018980401
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11501025
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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