ダイヤモンド薄膜合成用の表面波プラズマCVD装置におけるプラズマ特性の最適化

• 金 載浩

  東京大学

• 桂井 誠

  東京大学

書誌事項

タイトル別名

• Optimum Plasma Generation in Surface Wave Plasma CVD Apparatus for Diamond Film Deposition

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2003 (24), 39-43, 2003-05-08

キーワード

• マイクロ波プラズマ
• 表面波プラズマ
• 化学気相成長
• ダイヤモンド薄膜

詳細情報

• CRID: 1572543025275829248
• NII論文ID: 10018980401
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles