Optimum Plasma Generation in Surface Wave Plasma CVD Apparatus for Diamond Film Deposition

• KIM Jaeho

  The University of Tokyo

• KATSURAI Makoto

  The University of Tokyo

Bibliographic Information

Other Title

• ダイヤモンド薄膜合成用の表面波プラズマCVD装置におけるプラズマ特性の最適化

Journal

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2003 (24), 39-43, 2003-05-08

Keywords

• microwave plasma
• surface wave plasma (SWP)
• chemical vapor deposition (CVD)
• diamond film

Details

• CRID: 1572543025275829248
• NII Article ID: 10018980401
• NII Book ID: AA11501025
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles