Measurements of Radio Frequency Discharge Power and Plasma Parameters

• KANNO Shuji

  Iwate University

• MUKAIGAWA Seiji

  Iwate University

• TAKAKI Koichi

  Iwate University

• FUJIWARA Tamiya

  Iwate University

Bibliographic Information

Other Title

• RF放電におけるプラズマパラメータと電力測定

Journal

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2003 (11), 1-5, 2003-03-14

Keywords

• heat flux
• Bohm flux
• ambipoler diffusion
• LiNbO_3 interferometer
• Radio Frequency discharge power

Details

• CRID: 1573105975229249024
• NII Article ID: 10018980443
• NII Book ID: AA11501025
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles