チタン陰極アークプラズマ中に置かれたトレンチ基材におけるパルス電圧印加に伴うイオンシース挙動およびイオン電流特性 Ion sheath evolution and current characteristics for a trench immersed in a titanium cathodic arc plasma

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会  

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2003(11), 13-17, 2003-03-14 

参考文献:  4件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018980457
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11501025
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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