Ion sheath evolution and current characteristics for a trench immersed in a titanium cathodic arc plasma

• MA Xinxin

  Doshisha University

• YUKIMURA Ken

  Doshisha University

• IKEHATA Takashi

  Ibaraki University

Bibliographic Information

Other Title

• チタン陰極アークプラズマ中に置かれたトレンチ基材におけるパルス電圧印加に伴うイオンシース挙動およびイオン電流特性

Journal

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2003 (11), 13-17, 2003-03-14

Keywords

• PBII
• TiN
• plate coating
• thickness
• structure
• Plasma-Based Ion Processing
• PBIP

Details

• CRID: 1570854175415561984
• NII Article ID: 10018980457
• NII Book ID: AA11501025
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles