外部冷却型高出力ヘリウムICPの開発

• 宮原 秀一

  東京工業大学・総合理工学研究科

• 薮田 泰伸

  東京工業大学・総合理工学研究科

• 林 靖

  東京工業大学・総合理工学研究科

• 堀田 栄喜

  東京工業大学・総合理工学研究科

• 沖野 晃俊

  東京工業大学・総合理工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Development of High Power Helium ICP with a New Externally Air-cooling Torch

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2003 (11), 31-36, 2003-03-14

キーワード

• ヘリウム誘導結合プラズマ
• ICPトーチ
• 空冷
• 元素分析
• 原子発光

詳細情報

• CRID: 1573387450205956736
• NII論文ID: 10018980483
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles