Amorphous Carbon Film Preparation by Shunting Arc Discharge in Vacuum

• KUMAGAI Motoya

  Doshisha University

• YUKIMURA Ken

  Doshisha University

• TAKAKI Koichi

  Iwate University

Bibliographic Information

Other Title

• シャンティングアーク放電によるアモルファスカーボン薄膜の生成

Journal

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2003 (1), 19-24, 2003-03-13

Keywords

• arc
• amorphous carbon
• diamond like carbon
• plasma-based ion implantation

Details

• CRID: 1570854175415892352
• NII Article ID: 10018980590
• NII Book ID: AA11501025
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles