Nitrogen pressure and applied voltage dependencies of prepared TiN films using titanium cathodic arc PBII&D
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- PBII&D法によるTiN薄膜の窒素流量および印加電圧依存性
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- 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
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電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2003 (1), 25-30, 2003-03-13
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1571135650392601344
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- NII Article ID
- 10018980591
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- NII Book ID
- AA11501025
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles