Development of a New Sputter System using Multi-Null Discharge
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- SUNG Y. M.
- Miyazaki University
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- OKRAKU-YIRENKYI Yaw
- Miyazaki University
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- OTSUBO M.
- Miyazaki University
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- HONDA C.
- Miyazaki University
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- UCHINO K.
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Bibliographic Information
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- マルチヌル放電を用いた新しいスパッタシステムの開発
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Journal
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- 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
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電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2001 (91), 11-16, 2001-12-08
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1572824500252753152
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- NII Article ID
- 10018980653
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- NII Book ID
- AA11501025
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles