誘導結合型高周波プラズマにおける電子2次元速度分布関数 Two-dimensional velocity distribution function of electrons in an inductively coupled radio frequency plasma

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  • 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2001(81), 17-19, 2001-12-07

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    LIEBERMAN M. A.

    Principles of plasma discharge and materials processing, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    STENZEL R. L.

    Rev. Sci. Instrum. 53, 1027, 1982

    被引用文献3件

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    WANG E. Y.

    Rev. Sci. Instrum. 57, 2425, 1986

    被引用文献8件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018980737
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11501025
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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