Control of RF Plasmas and Development of Negative Ion Sources
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- TASAKA Takafumi
- Yamaguchi University
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- TAUCHI Yasushi
- Yamaguchi University
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- FUKUMASA Osamu
- Yamaguchi University
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- TAKEIRI Yasuhiko
- National Institute for Fusion Science
Bibliographic Information
- Other Title
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- RF放電プラズマの制御と負イオン源開発
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Journal
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- 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
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電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2001 (81), 21-26, 2001-12-07
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1571135650392244608
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- NII Article ID
- 10018980741
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- NII Book ID
- AA11501025
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles