永久磁石を用いたマイクロ波イオン源の磁路の設計

• 田崎 義明

  金沢工業大学

• 宮本 淳史

  金沢工業大学

• 松峯 昌男

  金沢工業大学

• 林 啓治

  金沢工業大学

• 作道 訓之

  金沢工業大学

• 高橋 成典

  アプライドマテリアルズジャパン

• 松永 保彦

  アプライドマテリアルズジャパン

• 伊藤 裕之

  アプライドマテリアルズジャパン

書誌事項

タイトル別名

• Designing the magnetic circuit for microwave ion source by using permanent magnets

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2001 (51), 7-10, 2001-08-24

キーワード

• マイクロ波イオン源
• 永久磁石
• 磁気回路

詳細情報

• CRID: 1572824500252853120
• NII論文ID: 10018981019
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles