直流スパッタ法によるNdBa_2Cu_3O_<7-δ>高温超伝導薄膜の成長に関する研究

• 高橋 荘一郎

  宇都宮大学

• 安岡 信治

  宇都宮大学

• 渡辺 隆志

  宇都宮大学

• 塩澤 貴弘

  宇都宮大学

• 鈴木 健之

  宇都宮大学

• 鈴木 光政

  宇都宮大学

書誌事項

タイトル別名

• Thin Film Growth of High Temperature Superconductor NdBa_2Cu_3O_<7-δ> by DC Sputtering

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2001 (51), 27-31, 2001-08-24

キーワード

• スパッタリング
• 高温超伝導体
• 薄膜
• 臨界温度

詳細情報

• CRID: 1571417125369302144
• NII論文ID: 10018981030
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles