ECRフラーレンプラズマを用いた炭素系薄膜の形成とプラズマ中イオン種計測 Formation of the carbon thin films by using ECR fullerenes plasma and in-situ TOF measurement

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会  

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2001(51), 33-38, 2001-08-24 

参考文献:  11件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018981038
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11501025
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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