ECRフラーレンプラズマを用いた炭素系薄膜の形成とプラズマ中イオン種計測 Formation of the carbon thin films by using ECR fullerenes plasma and in-situ TOF measurement

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2001(51), 33-38, 2001-08-24

参考文献:  11件中 1-11件 を表示

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    SATO N. Y.

    Proc. of Int. Conf. on Phys. of Dusty Plasmas, Goa, India, 1996, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    真瀬寛

    制御されたフラーレンプラズマによるフラーレン膜の堅牢化

    被引用文献1件

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    上篠榮治

    プラズマプロセスを利用した新物質薄膜及び新規表面機能材料の創製技術, 1998

    被引用文献1件

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    雨宮寛

    プローブ法による低温プラズマの診断

    被引用文献1件

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    谷垣勝巳

    フラーレン

    被引用文献1件

  • <no title>

    MAIKEN E. B.

    J. Appl. Phys. 78(1), 541-549, 1995

    被引用文献3件

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    VOLPEL R.

    Phys. Rev. Lett. 71, 3439-3441, 1993

    被引用文献2件

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    GRUNE Dieter M.

    J. Appl. Phys. 75(3), 1758-1763, 1994

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    EKLUND P. C.

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    AISENBERG S.

    J. Appl. Phys. 42, 2953, 1971

    DOI 被引用文献69件

  • ダイヤモンドを気相からつくる

    瀬高 信雄

    化学 42(4), p255-261, 1987-04

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018981038
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11501025
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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