Development of a Low Electron-Temperature Plasma Source for Selective Energy Control of Magnetized Plasma Particles

• KURODA Shingo

  Ibaraki University

• SATO Naoyuki

  Ibaraki University

• IKEHATA Takashi

  Ibaraki University

• TANABE Toshio

  Ibaraki University

• MASE Hiroshi

  Ibaraki University

Bibliographic Information

Other Title

• 磁化された荷電粒子の選択的エネルギー制御に向けた低電子温度プラズマ源の開発

Journal

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2001 (37), 13-18, 2001-08-23

Keywords

• rf discharge
• magnetized plasma
• ponderomotive potential
• electron-temperature control

Details

• CRID: 1573668925182850304
• NII Article ID: 10018981131
• NII Book ID: AA11501025
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles