円形表面波プラズマ装置の放電特性に関する3次元数値解析 Three Dimensional Numerical Analysis for Discharge Property of Ring Dielectric Line Surface Wave Plasma Processing Device

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収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会  

    電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2001(37), 25-30, 2001-08-23 

参考文献:  6件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018981157
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11501025
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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