プラズマイオン注入(PBII)におけるプラズマパルスバイアス法の試み

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タイトル別名
  • Proposal of the plasma pulse bias method for plasma-based ion implantation

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詳細情報

  • CRID
    1571980075322575488
  • NII論文ID
    10018981208
  • NII書誌ID
    AA11501025
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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