プラズマイオン注入(PBII)におけるプラズマパルスバイアス法の試み
書誌事項
- タイトル別名
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- Proposal of the plasma pulse bias method for plasma-based ion implantation
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
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電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2001 (37), 59-64, 2001-08-23
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詳細情報
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- CRID
- 1571980075322575488
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- NII論文ID
- 10018981208
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- NII書誌ID
- AA11501025
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles