アルゴン/酸素混合ガス中における間欠ジルコニウム陰極アーク放電による酸化ジルコニウム薄膜堆積におけるガス流量の影響 Ar/O_2 gas pressure dependence on Zirconia deposition using intermittent zirconia cathodic arc

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著者

    • 行村 建
    • 同志社大学 Department of Electrical Engineering, Doshisha University
    • 義永 博章
    • 同志社大学 Department of Electrical Engineering, Doshisha University
    • 大津 康徳
    • 佐賀大学 Department of Electrical & Electronic Engineering, Saga University
    • 藤田 寛治
    • 佐賀大学 Department of Electrical & Electronic Engineering, Saga University
    • 中村 圭二
    • 中部大学 Department of Electrical Engineering, College of Engineering, Chubu University

収録刊行物

  • 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会  

    電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003(239), 25-29, 2003-12-12 

参考文献:  7件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10018984176
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10320559
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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