アルゴン/酸素混合ガス中における間欠ジルコニウム陰極アーク放電による酸化ジルコニウム薄膜堆積におけるガス流量の影響

• 行村 建

  同志社大学

• 義永 博章

  同志社大学

• 大津 康徳

  佐賀大学

• 藤田 寛治

  佐賀大学

• 中村 圭二

  中部大学

書誌事項

タイトル別名

• Ar/O_2 gas pressure dependence on Zirconia deposition using intermittent zirconia cathodic arc

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2003 (239), 25-29, 2003-12-12

キーワード

• プラズマイオン注入・堆積
• ジルコニア
• コーティング
• 陰極アーク

詳細情報

• CRID: 1572543025276072704
• NII論文ID: 10018984176
• NII書誌ID: AN10320559
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles